Die Hauptklassifizierung von Sensoren:
Nach Verwendungszweck
Druckempfindliche und kraftempfindliche Sensoren, Positionssensoren, Füllstandssensoren, Energiesensoren, Geschwindigkeitssensoren, Beschleunigungssensoren, Strahlungssensoren, thermische Sensoren.
Aus Prinzip
Vibrationssensor, Feuchtigkeitssensor, Magnetsensor, Gassensor, Vakuumsensor, Biosensor usw.
Ausgangssignal drücken
Analoger Sensor: Wandelt die gemessene nichtelektrische Größe in ein analoges elektrisches Signal um.
Digitaler Sensor: Wandelt die gemessenen nichtelektrischen Größen in digitale Ausgangssignale (sowohl direkt als auch indirekt) um.
Digitaler Sensor: Wandelt das gemessene Semaphor in die Ausgabe eines Frequenzsignals oder Kurzzyklussignals um (einschließlich direkter oder indirekter Umwandlung).
Sensor umschalten: Wenn ein gemessenes Signal einen bestimmten Schwellenwert erreicht, gibt der Sensor entsprechend ein eingestelltes Low- oder High-Signal aus.
Nach Herstellungsprozess
Integrierte Sensoren werden mit Standardprozesstechnologie für die Herstellung von integrierten Halbleiterschaltkreisen auf Siliziumbasis hergestellt.
Ein Teil der Schaltung, die zur anfänglichen Verarbeitung des zu testenden Signals verwendet wird, ist typischerweise auch auf demselben Chip integriert.
Der Dünnschichtsensor wird durch einen Film aus einem entsprechend empfindlichen Material gebildet, der auf einem dielektrischen Substrat (Substrat) abgeschieden wird. Bei Verwendung eines Mischverfahrens kann ein Teil der Schaltung auch auf diesem Substrat hergestellt werden.
Der Dickschichtsensor wird hergestellt, indem eine Aufschlämmung eines entsprechenden Materials auf ein Keramiksubstrat aufgetragen wird, das üblicherweise aus Al2O3 besteht, und anschließend wärmebehandelt wird, um eine Dickschicht zu bilden.
Keramiksensoren werden mit Standard-Keramikverfahren oder einigen Variationen davon (Sol, Gel usw.) hergestellt.
Nachdem der entsprechende Vorbereitungsvorgang abgeschlossen ist, wird das geformte Bauteil bei hoher Temperatur gesintert. Es gibt viele gemeinsame Eigenschaften zwischen den beiden Prozessen von Dickschicht- und Keramiksensoren. In mancher Hinsicht kann das Dickschichtverfahren als Variante des Keramikverfahrens angesehen werden.
Jede Prozesstechnologie hat ihre eigenen Vor- und Nachteile. Keramik- und Dickschichtsensoren sind aus diesem Grund sinnvoller
