Ein Sensor ist ein Erfassungsgerät, das die gemessenen Informationen erfassen und die erfassten Informationen in ein elektrisches Signal oder eine andere erforderliche Form der Informationsausgabe umwandeln kann, um die Informationsübertragung, -verarbeitung, -speicherung und -anforderungen für die Anzeige, Aufzeichnung und Steuerung zu erfüllen.
Eingeteilt nach Herstellungsverfahren:
Integrierte Sensoren werden mit Standardprozesstechnologie für die Herstellung von integrierten Halbleiterschaltkreisen auf Siliziumbasis hergestellt. Ein Teil der Schaltung, die zur anfänglichen Verarbeitung des zu testenden Signals verwendet wird, ist typischerweise auch auf demselben Chip integriert, wie zum Beispiel der MEMS-Sensor, der derzeit entwickelt wird.
Der Dünnschichtsensor wird durch einen Film aus einem entsprechend empfindlichen Material gebildet, der auf einem dielektrischen Substrat (Substrat) abgeschieden wird. Bei Verwendung eines Mischverfahrens kann ein Teil der Schaltung auch auf diesem Substrat hergestellt werden.
Der Dickschichtsensor wird hergestellt, indem eine Aufschlämmung eines entsprechenden Materials auf ein Keramiksubstrat aufgetragen wird, das üblicherweise aus Al2O3 besteht, und anschließend wärmebehandelt wird, um eine Dickschicht zu bilden.
Keramiksensoren werden mit Standard-Keramikverfahren oder einigen Variationen davon (Sol, Gel usw.) hergestellt. Nachdem der entsprechende Vorbereitungsvorgang abgeschlossen ist, wird das geformte Bauteil bei hoher Temperatur gesintert.
Es gibt viele gemeinsame Eigenschaften zwischen den beiden Prozessen von Dickschicht- und Keramiksensoren. In mancher Hinsicht kann das Dickschichtverfahren als Variante des Keramikverfahrens angesehen werden.
Bei der Auswahl der Sensoren geht es nicht nur um Empfindlichkeit, Frequenzgang, linearen Bereich, Stabilität und Genauigkeit. Die Stabilität hängt eng mit dem Untergrundmaterial zusammen. Die ersten paar Punkte befassen sich hauptsächlich mit dem Herstellungsprozess. Von der Stabilität her die am besten geeignete nichtkeramische Leiterplatte für Sensoren. Die Stabilität keramischer Materialien ist recht gut. Solange die Herstellungsprozesstechnologie Bestand hat, sind Keramikleiterplatten definitiv besser als andere Leiterplatten.
Das beste Herstellungsverfahren für Keramikleiterplatten ist die LAM-Technologie, Laser Activation Metallization (LAM-Technologie), bei der hochenergetische Laserstrahlen verwendet werden, um Keramik und Metalle zu ionisieren, um sie zu stabilisieren.
Derzeit sind die inländischen Sensorhersteller jedoch hauptsächlich kleine und mittlere Unternehmen. Es sind immer noch viele Filmverfahren im Einsatz und es werden FR-4-Substrate verwendet. Die Lebensdauer ist nicht lang, die Stabilität ist schlecht und in einer etwas rauen Umgebung schlagen sie direkt zu. Es ist ein großer Aufwand erforderlich, um den Sensor an internationale Standards anzupassen.
Der Sensor benötigt noch eine Keramikplatine. Es ist in entwickelten Ländern weit verbreitet. China ist technisch nicht wirklich eingeschränkt und der Austausch von Sensorplatinen hängt von den großen Herstellern Goer, Dahua ab. Um die Führung zu übernehmen, müssen Hersteller technologische Innovationen durchführen, um größer und stärker zu werden, und Chinas Sensorindustrie kann auch mit dem Tempo der Welt mithalten.
