Ein Sensor ist eine Erfassungsvorrichtung, die die gemessenen Informationen erfassen und die erfassten Informationen in ein elektrisches Signal oder eine andere erforderliche Form der Informationsausgabe umwandeln kann, um die Informationsübertragung, -verarbeitung, -speicherung und -anforderungen für Anzeige, Aufzeichnung und Steuerung zu erfüllen.
Nach Herstellungsverfahren klassifiziert:
Integrierte Sensoren werden unter Verwendung von Standardverfahrenstechnologie zur Herstellung von integrierten Halbleiterschaltungen auf Siliziumbasis hergestellt. Ein Teil der Schaltung, die zum anfänglichen Verarbeiten des zu testenden Signals verwendet wird, ist typischerweise auch auf demselben Chip integriert, wie beispielsweise der MEMS-Sensor, der gerade entwickelt wird.
Der Dünnschichtsensor wird durch einen Film aus einem entsprechenden empfindlichen Material gebildet, der auf einem dielektrischen Substrat (Substrat) abgeschieden ist. Wenn ein Mischprozess verwendet wird, kann auch ein Teil der Schaltung auf diesem Substrat hergestellt werden.
Der Dickschichtsensor wird hergestellt, indem eine Aufschlämmung eines entsprechenden Materials auf ein Keramiksubstrat aufgetragen wird, das üblicherweise aus Al 2 O 3 besteht, und dann wärmebehandelt wird, um einen Dickfilm zu bilden.
Keramiksensoren werden unter Verwendung von Standardkeramikverfahren oder einer Variation davon (Sol, Gel usw.) hergestellt. Nach Abschluss des entsprechenden Vorbereitungsvorgangs wird das gebildete Bauteil bei hoher Temperatur gesintert.
Es gibt viele gemeinsame Merkmale zwischen den beiden Prozessen von Dickschicht- und Keramiksensoren. In mancher Hinsicht kann das Dickschichtverfahren als eine Variante des Keramikverfahrens angesehen werden.
Die Auswahl der Sensoren erfolgt nicht nur in Bezug auf Empfindlichkeit, Frequenzgang, linearen Bereich, Stabilität und Genauigkeit. Die Stabilität hängt eng mit dem Substratmaterial zusammen. Die ersten paar Punkte befassen sich hauptsächlich mit dem Herstellungsprozess. In Bezug auf die Stabilität dann die am besten geeignete nichtkeramische Leiterplatte für Sensoren. Die Stabilität von Keramikmaterialien ist recht gut. Solange die Herstellungsverfahrenstechnologie bestehen kann, sind Keramikplatinen definitiv besser als andere Leiterplatten.
Das beste Herstellungsverfahren für keramische Leiterplatten ist die LAM-Technologie, die Laser Activation Metallization (LAM-Technologie), bei der hochenergetische Laserstrahlen verwendet werden, um Keramiken und Metalle zu ionisieren und sie stark zu machen.
Derzeit sind inländische Sensorhersteller jedoch hauptsächlich kleine und mittlere Unternehmen. Es werden immer noch viele Filmverfahren verwendet, und es werden FR-4-Substrate verwendet. Die Lebensdauer ist nicht lang, die Stabilität ist schlecht und in einer etwas rauen Umgebung schlagen sie direkt zu. Es ist sehr aufwändig, den Sensor an die internationalen Standards anzupassen.
Der Sensor benötigt noch eine Keramikplatine. Es ist in Industrieländern weit verbreitet. China ist technisch nicht wirklich eingeschränkt, und der Austausch von Sensorplatinen hängt von den großen Herstellern Goer, Dahua ab. Um die Führung zu übernehmen, Hersteller, um technologische Innovationen durchzuführen, um größer und stärker zu werden, kann Chinas Sensorindustrie auch mit dem Tempo der Welt Schritt halten.
